别再让损坏的加热器毁掉你的晶圆了！ 如果你正在生产氢传感器，那么你肯定知道，加热环节往往是出问题的地方。在需要高效率生产的情况下，那些红外灯就会承受巨大的压力。最糟糕的情况就是：灯泡破裂了。这不仅会导致生产中断，还会让石英碎片和化学物质溅到晶圆上。一个灯泡的破裂足以毁掉整批产品，这无疑会造成巨大的...

防止加热元件破坏您的晶圆 如果您在100级洁净室中工作，那么您应该知道，空气过滤器只能起到一半的作用。真正的问题出在加热元件上——它们很容易在关键时刻释放出有害物质或颗粒物。 因此，我们使用高纯度的合成石英来制造红外线灯管。这样就能避免杂质污染晶圆。 材料的选择 普通石英通常含有杂质。当温度升高时...

别让一个坏掉的灯泡毁掉整个生产批次 在大规模MEMS生产中，哪怕只有一个灯泡出现问题，都可能让整个生产过程陷入混乱。如果红外灯管破裂了，那不仅仅是设备停机的问题——还有石英碎片和金属颗粒会落到晶圆上，这简直就是一场灾难。正因如此，我们才设计出这样的红外加热器，确保不会因为某个零件的故障而引发更大的...

别再浪费热量了 传统红外灯的问题在于：它们会将热量向四周散发，也就是360度范围内都会释放热量。在半导体制造环境中，这简直就是噩梦。一旦打开灯光，那些热量并不会全部作用于传感器上，而是有很大一部分会撞击到机器的内部结构上。结果就是，机器的壳体会变得非常热，甚至可能烧伤操作员，或者损坏机器内部的部件...

红外加热与强制空气加热：哪种方式更适合用来加热晶圆呢？ 从强制空气加热换成红外加热，不仅仅是更换一个部件而已，而是从根本上改变了能量传递的方式。 先来看看强制空气加热的原理吧。它依赖于对流效应，也就是说，必须依靠空气来为晶圆表面提供热量。虽然这种方式可行，但效率较低。而红外加热则不同，它直接利用辐...