MEMS 센서 웨이퍼 건조 히터
단 하나의 고장 난 전구로 인해 전체 제품이 망가지는 일을 막으세요.
대량 생산 환경에서는 단 한 개의 고장만으로도 일주일간의 작업이 수포로 돌아갈 수 있습니다.
적외선 램프가 파손되면, 단순히 생산이 중단되는 것뿐만 아니라, 석영 조각들과 금속 입자들이 웨이퍼 위에...
공장 건조 공정의 에너지 감사
제조 공정에서의 탄소 감소: 건조 과정에 대해 이야기해보자
솔직히 말해서, 반도체 제조 공장은 엄청난 양의 에너지를 소비합니다. 그 에너지 중 상당 부분은 웨이퍼의 수분을 제거하는 데 사용됩니다. 하지만 이때 열이나 불순물로 인해 웨이퍼가 손상되지 않도록 주의해야 합...
마이크로 LED 웨이퍼 건조 히터
On a Micro LED 라인에서 건조는 “쉬는 시간”이 아니라 다룰 수 없는 수율 레버입니다. 포토레지스트 소프트 베이크 또는 세정 후 건조 중 온도 변동은 라인폭을 목표에서 벗어나게 하고, 잔여물을 남기며, 입자 수를 증가시킵니다. 히터가 미끄러지면 스케줄러가...
플렉시블 디스플레이 건조 램프 제조공정
플렉서블 디스플레이 라인에서 포토레지스트 건조 단계는 단순한 정지가 아니다. 이것은 명확한 제어 지점이다. 열을 너무 빠르게 가하면 용매가 급격히 증발하면서 표면이 굳어 결함이 발생한다. 반대로 너무 오래 유지하면 열 예산이 하부 TFT로 스며들어 라인폭이 변동하고...