레이볼드 진공 히터 부품

제조 공정에서는 0.2°C만큼의 온도 변화도 웨이퍼의 선폭 제어를 망가뜨리고 포토레지스트의 성능에 악영향을 줄 수 있습니다. 레이볼드 진공 히터의 성능이 저하되면, 단순히 생산 효율만 떨어지는 것이 아니라, 24시간 내내 계속되는 생산 과정에서 많은 시간이 낭비됩니다...