단 하나의 고장 난 전구로 인해 전체 제품이 망가지는 일을 막으세요.
대량 생산 환경에서는 단 한 개의 고장만으로도 일주일간의 작업이 수포로 돌아갈 수 있습니다.
적외선 램프가 파손되면, 단순히 생산이 중단되는 것뿐만 아니라, 석영 조각들과 금속 입자들이 웨이퍼 위에 떨어지게 됩니다. 이는 정말 큰 문제입니다. 바로 이런 이유로 우리는 IR 건조 히터를 특별한 방식으로 설계했습니다. 그래야만 고장이 재앙으로 번지는 것을 막을 수 있습니다.
그렇다면 왜 이 램프들이 파손되는 걸까요?
고출력 램프는 엄청난 열을 발생시킵니다. 빠른 건조 속도를 유지하기 위해 램프를 과도하게 사용하면, 열응력으로 인해 밀봉 부분이 파괴됩니다. 게다가 석영에 약간의 불순물이 있거나 전압이 갑작스럽게 상승하면, 유리가 깨져버립니다. 이 경우 램프의 파편들이 웨이퍼 위에 떨어집니다.
우리는 어떻게 이 문제를 해결할까요?
우리는 두 가지 방법을 사용합니다.
첫째, 고순도의 합성 석영을 사용합니다. 이 석영은 더 견고하여 열충격에도 잘 버티습니다.
둘째, 가열 요소를 보호용 석영 캡이나 강화된 케이스 안에 넣습니다. 마치 안전망과 같은 역할을 합니다. 램프가 파손되더라도 캡이 모든 파편들을 가려줍니다. 그러면 웨이퍼는 깨끗하게 유지됩니다.
또한 전기적인 측면도 신경썼습니다. 정밀하게 맞춰진 커넥터를 사용하여, 단자에서 발생하는 아크 현상을 방지합니다. 아크 현상은 석영을 점차적으로 파괴합니다. 연결부를 제대로 처리하면, 문제가 발생하기 전에 미리 예방할 수 있습니다.
솔직한 타협점
보호용 캡을 사용하면 열과 웨이퍼 사이에 물리적인 장벽이 생깁니다. 그 결과 적외선의 효과가 약간 줄어듭니다.
따라서 더 높은 전력을 사용하거나, 웨이퍼가 완전히 건조될 때까지 몇 초 더 기다려야 할 수도 있습니다. 하지만 솔직히 말해서, 전구가 고장나서 5만 달러 상당의 센서들이 망가지는 것보다는 이런 타협을 감수하는 게 낫습니다.
단, 안정적인 전압 조절 장치를 함께 사용해야 합니다. 그래야 램프의 수명이 늘어나고, 웨이퍼의 품질도 유지됩니다.