글로브박스 내부에서의 열 손실을 막으세요
만약 글로브박스 안에서 웨이퍼를 가열해본 적이 있다면, 그 과정이 얼마나 힘든지 잘 알 것입니다. 많은 에너지가 투입되지만, 그 에너지의 상당 부분은 그냥 낭비됩니다. 일반적인 IR 소자들은 에너지를 사방으로 방출하기 때문에, 전력의 절반이 웨이퍼가 아닌 챔버의 벽을 따뜻하게 만드는 데 사용됩니다. 이는 분명한 낭비입니다.
그래서 우리는 히터에 금으로 코팅된 반사체를 추가했습니다.
왜 금인가요?
금은 적외선을 반사하는 데 아주 뛰어난 성능을 가지고 있습니다. 반사체에 얇은 금층을 추가함으로써, 탈출하는 광자들을 다시 되돌려보낼 수 있습니다. 이렇게 하면 흩어진 빛을 한 점에 집중시킬 수 있습니다. 그 결과, 더 적은 전력으로도 웨이퍼를 따뜻하게 할 수 있습니다. 마치 투박한 도구를 정밀한 도구로 바꾼 셈입니다.
열 관리
가장 좋은 점은 에너지가 집중된다는 것입니다. 그래서 시스템의 가동 시간이 크게 줄어듭니다. 목표 온도에 도달하면 바로 작업을 시작할 수 있습니다.
하지만 주의해야 할 점이 있습니다. 한 곳에 너무 많은 에너지가 집중되므로 주의가 필요합니다. 웨이퍼가 너무 얇거나 간격이 너무 좁으면 과열될 수 있습니다. PID 컨트롤러 설정을 꼼꼼히 확인하여 목표 온도를 초과하지 않도록 해야 합니다.
설치 방법
글로브박스는 공간이 좁다는 것을 알고 있습니다. 그래서 우리는 이 제품을 작고 간단하게 설계했습니다. 기존에 사용하던 IR 소자를 대체할 수 있도록 말입니다.
게다가 금이 반사 작용을 담당하기 때문에, 동일한 효과를 얻기 위해 램프의 전력을 낮춰도 됩니다. 이렇게 하면 필라멘트에 가해지는 부담이 줄어들어 램프가 더 오래 작동할 수 있습니다.
단, 금으로 된 표면을 깨끗하게 유지해야 합니다. 반사체에 약간의 먼지나 산화물이 생기면 효율성이 급격히 떨어집니다. 깨끗하게 유지한다면 계속해서 잘 작동할 것입니다.