空気を加熱するのをやめよう：半導体の熱処理をより効率的に行う方法 従来の抵抗式炉について正直に言えば、それらはエネルギーの無駄遣いです。チャンバ全体を加熱するために莫大な電力が消費されますが、そのうちの大部分はウェハには届きません。これは電力の無駄であり、炭素排出量を増やす原因にもなります。 私た...

遅い加熱に時間を無駄にするのはやめましょう。なぜなら、真空環境下では真空赤外線ヒーターが最適な手段だからです。 もし、真空状態で物を温めるために空気の流れを利用しているのであれば、おそらく問題に気づいているはずです。空気がない場合、対流による加熱はうまく機能しません。その結果、時間がかかる間接的な...

ファブの現場では、ご存知の通り、ウェーハ上の温度が0.2℃でも変動すれば、線幅の制御が乱れ、フォトレジストのプロファイルも崩れてしまいます。Leybold製の真空ヒーターの性能が低下すると、単に歩留まりが悪くなるだけでなく、24時間体制での生産において無駄な時間がかかってしまいます。私たちは、この...