省エネ型ウェーハヒーター

IR加熱と熱風加熱：ウェーハの処理を待つ時間をなくそう もし依然として半導体の深層加工に熱風循環方式を使っているなら、実質的に半日以上を待つことに費やしていることになります。インフラレッド（IR）加熱に切り替えるというのは、高価な新しい装置を購入するというわけではありません。つまり、熱処理プロセス...