店舗を安全に保つために：IRランプと揮発性化学物質 正直に言えば、赤外線加熱ランプを化学洗浄ラインの近くに設置するのは、まるで火を扱うようなものです。燃えやすい、または爆発しやすい溶剤を扱う場合、通常の開放型ランプを使うのは危険極まりないことです。それは、事故が起きる可能性のある状態だと言えます。...

製造現場において、フォトレジストのベークは「あったらいいな」ではなく、厳密な制約条件である。ホットゾーンで2℃のずれが生じると、クリティカルディメンションのバイアスが急激に変化し、過去には許容されていたような異常を許してくれない。こうした現実を前提に、当社はウェーハ処理用の赤外線クォーツランプを設...