PID制御半導体ヒーター

製造現場では、焼成温度が半度だけ変動しても、フォトレジストの品質が悪化し、廃棄処分になってしまいます。歩留まりを守るためには、温度制御は後回しにできない重要な要素です。それは、まさに実際の工程パラメータとして扱われるべきものです。 内部で何が重要か 私たちが開発したこのPID制御式半導体ヒーターは...