オゾンフリー赤外線ランプ

工場内でオゾンの発生を止めましょう。 半導体クリーンルームで働いたことがある人なら、その状況はよくわかるでしょう。正確な温度制御が必要なため、短波長のIRランプが使われます。しかし、問題があります。これらのランプはしばしば真空紫外線（VUV）を放出し、その結果、空気中の酸素がオゾンに変わってしまい...