手套箱红外加热元件

停止让热量在手套箱中白白浪费 如果你曾经尝试过在手套箱内为晶圆加温，那么你一定知道这有多麻烦。虽然你投入了大量的电能，但其中很大一部分能量却白白流失了。大多数普通的红外加热器会将热量向各个方向散发，这样一来，一半的电能都用来加热舱壁，而非晶圆本身。这无疑是一种浪费。 正因如此，我们决定在加热器上安...