
停止让热量在手套箱中白白浪费
如果你曾经尝试过在手套箱内为晶圆加温,那么你一定知道这有多麻烦。虽然你投入了大量的电能,但其中很大一部分能量却白白流失了。大多数普通的红外加热器会将热量向各个方向散发,这样一来,一半的电能都用来加热舱壁,而非晶圆本身。这无疑是一种浪费。
正因如此,我们决定在加热器上安装镀金反射器。
为什么要用黄金呢?
其实并不是因为黄金看起来很漂亮。黄金具有极佳的红外光反射能力。通过在反射器表面涂上一层薄薄的黄金,就能将那些逸散的光子反射回来。这样,原本分散的热量就能被集中起来,从而让更多的热量照射到晶圆上,而无需增加额外的电能消耗。这相当于把一种效率低下的工具变成了精密工具。
处理热量问题
最棒的是,这种装置能够快速产生热量。由于能量得到了集中,因此达到目标温度的时间也会大大缩短。你可以立即开始后续的工作。不过需要注意的是,如此高的能量密度意味着必须格外小心。如果晶圆太薄或缝隙太小,就可能会出现局部过热的情况。因此,你需要仔细调整PID控制器的设置,避免超过目标温度,从而避免损坏晶圆。
安装方式
我们知道手套箱的空间非常有限。因此,我们设计的这些反射器体积小且结构简单,可以直接替代现有的红外加热器。另外,由于黄金具有出色的反射效果,你通常可以以较低的功率来获得相同的效果。这样一来,灯丝所承受的压力就会大大降低,从而延长灯的寿命。
只有一点需要注意:一定要保持反射器表面的清洁。一旦表面有灰尘或氧化现象,其反射效率就会立刻下降。只要保持其表面光亮,它就能继续正常工作。