사진감응제를 사용하는 공정에서는 온도 변동을 용납할 수 없습니다. 소프트 베이크나 하드 베이크 과정에서 2°C만큼의 온도 변동이 생기면 웨이퍼 전체에 걸쳐 CD 값에 변동이 생깁니다. 검사원이 이를 발견하기 전에 이미 생산 효율이 떨어집니다. 저희는 반도체 히터용 서모커플을 개발하여 이러한 문제를 바로 해결합니다.
핵심은 무엇인가? 이 서모커플은 공정 과정에서 몇 도의 미세한 온도 변동도 허용하지 않도록 설계되었습니다. 이를 통해 가열 구역 내에서 웨이퍼 전체에 걸쳐 ±0.1°C 정도의 일관된 온도를 유지할 수 있으며, 그 결과 사진감응제의 흐름과 용매 제거 과정도 규격 내에서 이루어집니다. 이 센서는 클래스 1–100 등급의 청정실에서도 사용할 수 있으며, 입자를 전혀 방출하지 않아 리소그래피 및 트랙 통합 과정에서 오염이 발생하지 않습니다. 출력의 반복성도 매우 우수하여 대량 생산 공정에서 계획되지 않은 다운타임을 최소화할 수 있습니다. 또한, 센서의 형태가 표준적인 히터 블록 및 커넥터 인터페이스와 호환되므로 설치가 용이하고 교체도 빠릅니다.
왜 생산 환경에서도 효과적인가? 공정에서는 방의 온도가 아니라, 공정 요구사항에 맞는 온도 안정성이 필요합니다. 사진감응제 처리 과정에서 이 서모커플은 온도를 정확하게 제어하여 중요한 치수들이 정확하게 유지됩니다. 청정실에 적합한 재료와 입자가 없는 구조 덕분에 결함이 줄어들어 폐기물과 재작업도 줄어듭니다. 제어 루프가 온도 변동을 추적하지 않기 때문에 에너지 소비도 줄어듭니다. 그 결과, 시간이 지나도 일관된 성능을 유지할 수 있습니다.
반드시 고려해야 할 세부 사항들 설치 시에는 히터의 크기와 서모커플의 위치가 정확히 맞아야 합니다. 정확하지 않으면 지연이 발생하고 오류가 생깁니다. 최상의 성능을 얻으려면 센서를 컨트롤러에 적합한 방식으로 연결하고, 실제 공정 설정값에 맞게 보정해야 합니다. 고습도 환경에서는 특별한 조치가 없으면 센서의 수명이 짧아질 수 있습니다.