ファブの現場では、ご存知の通り、ウェーハ上の温度が0.2℃でも変動すれば、線幅の制御が乱れ、フォトレジストのプロファイルも崩れてしまいます。Leybold製の真空ヒーターの性能が低下すると、単に歩留まりが悪くなるだけでなく、24時間体制での生産において無駄な時間がかかってしまいます。私たちは、このような状況を解消するために、Leybold製の真空ヒーターのスペア部品を製造しました。これにより、装置が本来持つ熱挙動を再現でき、24時間体制の生産にも対応できるようになります。
技術的に重要なのは何か？ 重要なのは、加熱領域全体でのウェーハの温度均一性です。±0.1℃以内に抑える必要があります。このような制御により、ソフトベイクやハードベイクの温度が安定し、CDバイアスも安定します。また、温度が変動することで発生する欠陥も減少します。使用される材料や構造はクリーンルーム向けで、クラス1～100に適合しており、運用中に粒子が発生することもありません。各スペア部品はLeyboldのインターフェースに適合しており、ヒーターの形状や端子の配置、熱的な特性も元のものと同じです。そのため、システムは元のものと同じ熱的特性を持つことになります。
なぜこれがリソグラフィーやフォトレジスト処理において重要かというと、温度の再現性が、予測可能な工程と緊急修理が必要な状況を分ける鍵となるからです。このスペア部品を使用すれば、ベイクプロファイルを規定値内に保つことができます。線端の荒さも容易にコントロールでき、不十分な硬化や過度な硬化によるスクラップも減少します。再作業の回数も減り、スループットも安定します。そして、温度の変動を補償するための無駄なエネルギー消費も避けられます。
実用上の注意点としては、熱プロファイルに合わせてマウントを正しく調整し、接続面を清潔に保ち、サーミスタの位置も確認する必要があります。交換後は、迅速なテストを行い、熱マップを再確認し、粒子の性状をチェックします。また、指定された真空度範囲外での運用や、劣化したチャンバーシールを使用することは避けてください。そうすると、求める温度均一性が損なわれてしまいます。スペア部品を定期的なチャンバーメンテナンスと組み合わせれば、理想的な状態を維持できます。