Bij het drogen van fotoresistent mag er geen sprake zijn van afwijkingen. Een verschil van 2°C tijdens het zachte of harde drogen zorgt voor verschillen in de dikte van de laag op het siliciumplaatje. Hierdoor daalt de productiekwaliteit al voordat de controleur dit zelfs maar waarneemt. Wij hebben onze thermokoppel ontworpen om deze problemen zo vroeg mogelijk te voorkomen.
Wat belangrijk is
Deze thermokoppel is ontworpen voor nauwkeurige temperatuurregeling, waarbij de tolerantie slechts enkele tienden van een graad bedraagt. Hij zorgt ervoor dat de temperatuur over het hele oppervlak van het siliciumplaatje gelijk blijft, namelijk binnen ±0,1°C. Hierdoor blijft de stroom van de fotoresistent en het verwijderen van oplosmiddelen binnen de vereiste grenzen. De sensor is compatibel met schone kamers van klasse 1–100 en produceert geen deeltjes, waardoor besmetting wordt voorkomen. De nauwkeurigheid van de meting blijft constant, zodat er geen ongeplande stilstand van de apparaten optreedt. De geometrie van de sensor past goed in standaardverwarmingsblokken en aansluitingen, waardoor de installatie eenvoudig is en vervangingen snel kunnen worden uitgevoerd.
Waarom het werkt in de productie
Er is behoefte aan temperatuurstabiliteit die zich houdt aan de vereisten van het proces, en niet aan de omgevingstemperatuur. Tijdens het verwerken van fotoresistent zorgt deze thermokoppel ervoor dat de temperatuur nauwkeurig wordt geregeld. Hierdoor blijven de belangrijke afmetingen onder controle en gedragen zich de randen van de laag voorspelbaar. Materialen die geschikt zijn voor schone kamers en een ontwerp zonder deeltjes helpen om defecten te verminderen. Hierdoor is er minder afval en herwerk nodig. De energieverbruik neemt af, omdat de regelingscyclus geen pogingen doet om afwijkingen te compenseren. De belasting op de warmtebronnen neemt ook af, omdat de temperatuurschommelingen worden beperkt. Het resultaat is consistente prestaties, shift na shift, plaatje na plaatje.
Praktische details die je niet mag negeren
De installatie moet overeenkomen met de massa van de warmtebron en de positie van de thermokoppel. Een verkeerde positie leidt tot vertragingen en lokale fouten. Voor de beste prestaties moet de sensor worden gecombineerd met de juiste aansluitingen en bescherming voor de controller. De sensor moet ook worden gekalibreerd volgens de werkelijke ingestelde temperatuur, en niet volgens de meting op een testapparaat. In omgevingen met hoge luchtvochtigheid zal de levensduur van de sensor korter zijn, tenzij de benodigde isolatie en aansluitingen worden gebruikt.