Op de productieafdeling weet je hoe het moet. Een afwijking van 0,2°C op het gewicht van de wafer is al voldoende om de controle over de dikte van de fotolac te verstoren en het profiel van de fotolac te verpesten. Wanneer de vacuümhitter van Leybold minder goed werkt, raak je niet alleen productiecapaciteit kwijt, maar ook uren aan tijd die anders besteed hadden kunnen worden aan een proces dat plotseling minder effectief wordt. We hebben deze vervangende onderdelen voor de Leybold-vacuümhitters gemaakt zodat je weer terugkomt bij het thermische gedrag dat het apparaat oorspronkelijk had, met een nauwkeurigheid die nodig is voor 24/7 productie.
Wat technisch gezien belangrijk is
Het gaat erom dat de temperatuur op het niveau van de wafer constant blijft, binnen een marge van ±0,1°C in het verwarmde gebied. Hierdoor blijven de temperaturen voor het zachte en harde bakproces consistent, waardoor de CD-bias stabiel blijft en defecten die optreden wanneer de thermische condities veranderen, worden voorkomen. De materialen en constructie zijn geschikt voor een schone werkomgeving, met een classificatie van Class 1–100. Ze leveren geen deeltjes af tijdens gebruik. Elk vervangend onderdeel past perfect bij de Leybold-interface: de geometrie van de hitter, de lay-out van de verbindingen en de thermische koppeling. Hierdoor heeft het systeem dezelfde thermische eigenschappen als het originele apparaat.
Dit is belangrijk in de lithografie en fotolacverwerking: nauwkeurigheid in de temperatuur bepaalt of de productieprocessen voorspelbaar verlopen of dat er vaak reparaties nodig zijn. Met deze vervangende onderdelen blijven de bakprofielen binnen de vereiste grenzen. De ruwheid van de randen van de wafer kan gemakkelijker worden geregeld, waardoor er minder afval ontstaat door onvoldoende of te lange bewerkingstijden. Er is minder herwerkingswerk nodig en de productiecapaciteit blijft stabiel. Bovendien hoef je geen energie meer te verspillen aan pogingen om thermische afwijkingen te compenseren.
Een paar praktische tips: zorg ervoor dat de hitter op de juiste manier wordt geïnstalleerd, houd de contactoppervlakken schoon en controleer nogmaals de positie van de thermokoppen. Na het vervangen van de hitter, voer je eerst een snel testproces uit om de thermische kenmerken opnieuw vast te stellen en te controleren of er geen deeltjes vrijkomen. Verder moet je het apparaat niet gebruiken buiten het specifieke vacuümbereik of met sluitingen die hun functionaliteit hebben verloren. Beide factoren kunnen de gewenste thermische uniformiteit bedreigen. Combineer het gebruik van deze vervangende onderdelen met regelmatige onderhoudskeren, dan blijf je binnen de benodigde parameters.