Op de productielijn is een verschil van maar een halve graad in de baktemperatuur al voldoende om ervoor te zorgen dat het profiel van de fotoresist van goed naar slecht verandert. Als je de kwaliteit van het eindproduct wilt behouden, mag thermische controle geen ondergeschikt aspect zijn – het moet worden beschouwd als een echte procesparameter.
Wat belangrijk is onder de motorkap
We hebben deze PID-gestuurde halfgeleiderverwarmer ontworpen met een gesloten regelingscyclus die is aangepast aan de vereisten van lithografiebaksstations. Op het oppervlak van de wafer wordt de uniformiteit op het niveau van ±0,1°C gehouden, zodat er herhalbaarheid is tussen verschillende cycles. De verwarmer is compatibel met schone ruimtes van klasse 1–100; de gebruikte materialen en oppervlakken zorgen er bovendien voor dat er geen deeltjes worden gegenereerd. De verwarmer kan 24/7 draaien zonder onverwachte stilstand. De temperatuurstabiliteit zorgt er ook voor dat de temperatuur binnen de toleranties van de fotoresist blijft.
Waarom dit belangrijk is
Het ‘zachte bakken’ en ‘harde bakken’ zijn de stappen die nodig zijn om de afmetingen en profielen van het product vast te leggen. Met deze verwarmer wordt de precisie van de baktemperatuur verbeterd, waardoor er minder herwerking nodig is. Hierdoor is er meer herhalbaarheid in het proces, waardoor er minder defecte producten ontstaan. Er wordt ook betere controle over de cruciale afmetingen bereikt, en er zijn minder afwijkingen die te wijten zijn aan thermische variaties.
Snelle stabilisatie en minimale overshoot zorgen er ook voor dat de energieverbruik op peil blijft. Bovendien worden de onderhoudsintervallen langer, omdat het ontwerp thermische spanningen vermijdt die kunnen leidden tot storingen in de componenten.
Enkele praktische tips
Het systeem kan gemakkelijk geïntegreerd worden, maar de PID-instellingen moeten worden aangepast aan de massa van de kamer, de luchtcirculatie en de snelheid waarmee de temperatuur wordt verhoogd. Geef ons uw precieze bakprofiel: de snelheid waarmee de temperatuur wordt verhoogd, de tijd die nodig is om de gewenste temperatuur te bereiken en de volgorde van de instellingen. Op deze manier worden de controlesparameters aangepast aan uw apparatuur, en niet alleen aan de onze.
Zodra het systeem is geïnstalleerd, moet u de kalibratie van de sensoren regelmatig uitvoeren, in combinatie met het preventieve onderhoud. Op deze manier blijft de nauwkeurigheid van de temperatuur op het niveau van ±0,1°C, dag na dag.