节能型晶圆加热器

红外加热与热风加热：别再让晶圆等待下去了！ 如果你仍然使用热风循环方式来进行半导体材料的深度加工，那基本上你有一半的时间都在等待中度过。而改用红外加热并非需要购买昂贵的新设备，而是为了消除加热过程中的浪费时间。 其原理其实很简单。 热风加热的速度很慢。首先需要加热空气，然后由空气再去加热晶圆。这种...