节能型半导体加热器

别再等待烤箱加热了：更高效的晶圆加热方式 在大多数半导体生产线上，你都会看到同样的加热方式——热空气循环。其实，那不过是个巨大的对流式烤箱罢了。先加热空气，再让空气来加热晶圆，然后就只能等待热量真正渗透到晶圆中。 这种方式效率极低。说实话，这是整个生产流程中最耗时的环节。从启动设备到达到目标温度之...