标签为“冲洗”的页面如下 用于冲洗的防水红外线灯 别再把半导体加工设备变成“烤箱”了 大多数红外线加热器都是向各个方向散发热量。在空间有限的半导体加工设备中,这无疑是个大问题。这样一来,不仅晶圆会被加热,设备的内部墙壁也会被加热。结果就是,整个设备简直变成了一个“烤箱”。这样的环境会导致操作员受伤,或者让元件在尚未达到正常使用寿命时就损坏。这既浪... Read more...
用于冲洗的防水红外线灯 别再把半导体加工设备变成“烤箱”了 大多数红外线加热器都是向各个方向散发热量。在空间有限的半导体加工设备中,这无疑是个大问题。这样一来,不仅晶圆会被加热,设备的内部墙壁也会被加热。结果就是,整个设备简直变成了一个“烤箱”。这样的环境会导致操作员受伤,或者让元件在尚未达到正常使用寿命时就损坏。这既浪... Read more...