서론 상상해보세요. 대량 생산이 진행 중인 반도체 공장에서 적외선 램프가 고장 난다고 가정해 보세요. 이는 단순한 생산 중단에 그치지 않습니다. 유리 조각들과 가스가 발생하여 웨이퍼가 오염될 위험이 있습니다. 그래서 우리는 그러한 문제를 사전에 방지하기 위해 금으로...

리소그래피 공정에서, 하드 베이크 과정 중 1°C의 온도 변동은 “위험”이 아닙니다. 그것은 생산이 중단되는 원인이 됩니다. 치명적인 수준의 크기 제어 오차가 발생하여, 해당 제품군은 생산될 수 없습니다. 열 관리가 제대로 이루어지는지를 결정하는 가장 중요한 요소는...