가열 요소가 웨이퍼를 망치는 것을 막으세요
만약 클래스 100급 청정실을 운영하고 있다면, 공기 필터만으로는 충분하지 않다는 것을 이미 알고 있을 것입니다. 진짜 문제는 바로 가열 요소입니다. 이러한 가열 요소들은 정말 위험한 존재로, 웨이퍼에 해로운 물질들을 방출할 수 있습니다.
그래서 우리는 IR 램프에 고순도의 합성 석영을 사용합니다. 이렇게 하면 웨이퍼에 오염물질이 달라붙는 것을 방지할 수 있습니다.
재료의 중요성
일반적인 석영에는 불순물이 포함되어 있습니다. 온도가 상승하면 그 불순물들이 기화됩니다. 이는 결코 좋은 일이 아닙니다.
우리는 고순도의 규소를 사용하여, 온도가 변동할 때마다 램프에서 입자가 떨어지는 것을 방지합니다. 또한 석영이 급격한 온도 변화에도 견딜 수 있도록 처리됩니다. 그래야 균열이 생기거나 유리 조각이 나오거나 미세한 먼지가 공정실 안으로 들어가는 것을 막을 수 있습니다.
적절한 열 공급
우리는 단파장 IR을 사용합니다. 이 방식으로는 웨이퍼 표면에 빠르게 열이 전달됩니다.
열이 빨리 전달될수록 웨이퍼가 극심한 온도에 노출되는 시간이 줄어듭니다. 이는 기판에 이상한 화학 반응이 일어날 위험을 줄여줍니다.
정확도가 매우 중요합니다. 300mm 크기의 도구를 사용한다면, 램프의 길이와 와트수는 전원 공급 장치와 정확하게 맞아야 합니다. 그렇지 않으면 과열이 발생할 수 있습니다. 또한, 적절한 냉각 팬이 없다면 필라멘트가 너무 빨리 손상될 수 있습니다.
교체 및 유지보수
우리는 표준 커넥터를 사용하기 때문에, 손상된 램프를 교체하는 것은 매우 간단합니다. 굳이 하루 종일 시간을 들여서 전선을 다시 연결할 필요가 없습니다.
하지만 한 가지 주의해야 할 점이 있습니다. 고순도 석영은 피부의 기름에 매우 민감합니다.
단 한 번의 지문만으로도 스트레스가 생길 수 있습니다.
따라서 램프를 설치할 때는 반드시 먼지가 없는 장갑을 착용해 주세요. 석영에 기름이 묻으면 필라멘트가 손상되기 전에 석영 자체가 파손될 수 있습니다. 이런 작은 주의 사항만으로도 많은 문제를 예방할 수 있습니다.