Voorkom dat uw apparatuur smelt: een betere manier om wafers te verwarmen
Als u ooit een infraroodverwarmingssysteem hebt gebruikt voor halfgeleiderwafers, kent u de uitdagingen die hierbij komen kijken. Het gaat er niet echt om de wafer heet te maken – dat is het gemakkelijke deel. Het echte probleem is om te voorkomen dat uw dure apparatuur al die hitte opneemt.
Standaard infraroodlampen stralen energie in alle richtingen uit. Als u dit zomaar doet, gaan de binnenmuren van de verwerkingskamer oververhit raken. Dit vormt niet alleen een veiligheidsrisico voor degene die naast de machine staat, maar kan ook tot vervorming van het frame van de apparatuur leiden. Dat ziet er niet goed uit.
Het focussen van de hitte
Wij lossen dit op door gebruik te maken van gerichte infraroodtechnologie. In plaats van eenvoudigweg een gewone kwartsbuis te gebruiken, maken we gebruik van reflectoren of speciale coatings om de energie precies waar nodig te sturen: naar de wafer.
Stel u zich voor dat u van een gewone gloeilamp overgaat op een zaklamp. Door het lichtbundel te beperken, voorkomen we dat de “onnodige” straling de muren raakt. De hitte blijft dus op de wafer, terwijl de rest van de machine koel blijft.
Het vinden van de juiste afstand
Het vinden van de juiste afstand tussen de lamp en de wafer vereist wat balansvinding. Als u de lamp te dicht plaatst, ontstaan er hete plekken op de wafer. Te ver weg? Dan verspilt u energie. We bepalen meestal de veilige afstand door te kijken naar de vermogen van de lamp en hoe de muren van de kamer reageren op de hitte.
Het is een compromis: een nauwere afstand zorgt er wel voor dat de wafers sneller op temperatuur komen. Maar dit legt ook meer druk op de koelmachines. Als het koelsysteem de toegenomen hitte niet kan verwerken, branden de lampen veel eerder uit dan nodig is.
Voorzichtigheid
Het grootste voordeel van gerichte verwarming is dat het buitenste deel van de apparatuur koel blijft. U kunt het zelfs aanraken zonder bang te hoeven zijn voor brandwonden.
Dit betekent dat u die zware thermische beschermingen niet meer nodig heeft. Uw apparatuur ziet er netter uit, en het werkplek is veiliger.
Let wel: hoe meer u de lichtbundel concentreert, hoe belangrijker het is om de alignering nauwkeurig te houden. Als de lamp zelfs maar een paar millimeter verschuift, kan de hitte niet meer op de wafer terechtkomen. Houd de lamp recht, en alles werkt prima.