Op de lithografielijn is een temperatuurschommeling van 1°C tijdens het harde bakproces geen ‘risico’. Het betekent dat het proces wordt gestopt. De controle op de cruciale dimensies valt dan buiten de vereiste specificaties, waardoor de productie stil komt te liggen.
Het eerste wat bepaalt of het thermische proces goed verloopt, is de reflector in de lamp die wordt gebruikt voor het drogen van de wafer. Punt.
Wat je echt nodig hebt, is controle die gemeten kan worden. We stellen de geometrie van de reflector zo in dat het lichtspectrum precies over het oppervlak van de wafer komt te liggen, met een thermische uniformiteit van ±0,1°C. Dit zorgt ervoor dat zowel het zachte als het harde bakproces goed verloopt.
Het oppervlak en het materiaal dat wordt gebruikt, zorgen er ook voor dat er minder deeltjes ontstaan. Hierdoor blijft het aantal deeltjes binnen de grenzen die gelden voor schone kamers van klasse 1–100.
Wanneer de lijn 24/7 draait, blijft de reproduceerbaarheid van het product behouden. Een stabiele straling zorgt er bovendien voor dat er geen verschillen zijn tussen de verschillende batches.
Dit is belangrijk in de praktijk: consistente bakprocessen verminderen het aantal herwerkingen en afvalproducten. Bovendien zorgt een stabiele straling voor een betere controle over de ruwheid aan de randen van de fotorester.
De efficiëntie van de reflector vermindert ook de thermische belasting op de omliggende componenten. Dit kan leiden tot lagere energieverbruiken en een langere levensduur van de lampen en componenten.
Minder processestoornissen. Voorspelbare cyclustijden. Minder onverwacht onderhoud.
Eén praktisch advies: de reflector werkt alleen als de lamp goed is gealigneerd en de bevestigingsoppervlakken schoon zijn. Installeer hem binnen de voorgeschreven tolerantiebereiken en controleer na elke lampwisseling de temperatuurniveau’s. Als je deze richtlijnen niet naleeft, zal er een ongelijke verdeling van de warmte optreden. Dit resulteert in oneffenheden op het oppervlak van de wafer – zelfs wanneer de ingestelde waarde nog steeds correct is.