Cara yang lebih efektif untuk proses penyembuhan bahan dalam bilik bersih
Jika anda pernah berada di kilang pengeluar semikonduktor, pasti anda tahu betapa sukarannya untuk mengeringkan bahan fotoreseistan atau bahan perekat tanpa merosakkan kualiti udara di dalam bilik tersebut. Biasanya, kita perlu menggunakan udara panas untuk tujuan ini. Namun, penggunaan udara panas di dalam bilik bersih merupakan masalah besar. Anda perlu berjuang dengan sistem HVAC untuk memastikan standard ISO tetap terjaga.
Inilah kelebihan lampu inframerah (IR). Daripada memanaskan seluruh bilik, lampu IR akan menghantar tenaga secara langsung ke bahagian yang perlu diproses. Ini adalah cara yang lebih efektif dan bersih. Selain itu, kerana tidak perlu menggunakan penyejuk atau elemen pemanas yang berkuasa tinggi sepanjang masa, bil elektrik pun akan menjadi lebih rendah. Lagipun, lampu IR dapat mencapai suhu operasi yang diinginkan dalam masa beberapa saat sahaja. Anda tidak perlu membuang tenaga secara sia-sia sambil menunggu ketuhar panas. Ini merupakan cara yang lebih mesra alam.
Masalahnya adalah cara pemasangan lampu tersebut. Anda tidak boleh sekadar meletakkan lampu tersebut di atas meja. Kita menggunakan kapsul kuarsa untuk melindungi wafer daripada bahan kotoran yang mungkin terhasil akibat haba. Sebarang kekotoran kecil pun boleh merosakkan keseluruhan wafer tersebut.
Anda juga perlu memilih panjang gelombang yang sesuai. Tenaga yang dihasilkan oleh lampu IR haruslah sampai ke bahan yang ingin diproses, bukan merosakkan litar elektronik di bawahnya.
Selain itu, pastikan suhu yang dihasilkan tidak terlalu tinggi. Jika anda menggunakan kuasa yang terlalu tinggi untuk mempercepatkan proses pemprosesan, ia boleh menyebabkan kerosakan pada bahan yang diproses. Saya sentiasa mengesyorkan penggunaan kawalan PID yang tepat serta sistem maklum balas termokopel. Ini akan membantu menjaga suhu pada tahap 2°C, sekali gus mengelakkan masalah yang mungkin timbul.
Mengapa perlu bertukar kaedah? Selain faktor saintifik, penggunaan lampu IR juga lebih efektif dari segi ruang yang digunakan. Meja yang dilengkapi lampu IR jauh lebih kecil berbanding ketuhar konveksi. Ini merupakan cara yang mudah untuk mengurangkan penggunaan tenaga sebanyak 30% hingga 50%.
Pemasangannya juga sangat mudah. Namun, pastikan bekalan kuasa yang digunakan cukup kuat. Alat ini memerlukan arus kuat ketika pertama kali dihidupkan, dan tiada siapa yang ingin menghabiskan masa petangnya untuk memperbaiki masalah yang timbul akibat arus kuat tersebut.