Hentikan Pemanasan Udara: Cara Lebih Efisien untuk Proses Termal Semikonduktor
Mari kita akui kelemahan ketuhar jenis resistif tradisional. Ia memerlukan tenaga yang sangat banyak untuk memanaskan seluruh ruang di dalamnya. Sebahagian besar tenaga tersebut sebenarnya tidak digunakan untuk memanaskan wafer itu sendiri. Ini merupakan pembaziran tenaga, dan juga menyebabkan peningkatan jejak karbon.
Kami telah mencari cara yang lebih baik. Daripada memanaskan seluruh ruang, kami menggunakan pemanas inframerah di dalam ruang vakum untuk memanaskan kawasan tertentu sahaja.
Mengapa Inframerah Berkesan
Radiasi inframerah tidak memerlukan udara atau bahan lain untuk mengalirkan haba. Dalam keadaan vakum, ini merupakan cara terbaik untuk menghantar tenaga haba ke tempat yang diperlukan, tanpa perlu melawan hukum fizik.
Kami menyesuaikan panjang gelombang cahaya inframerah agar sesuai dengan bahan silikon dan fotoresist yang ingin menyerap haba tersebut. Dengan cara ini, tenaga yang digunakan tidak membazir untuk memanaskan dinding ruang vakum, sebaliknya haba tersebut ditumpukan tepat pada substrat yang perlu dipanaskan.
Keseimbangan antara Kuasa dan Haba
Jika anda ingin memanaskan sesuatu dengan cepat, anda memerlukan lampu berkuasa tinggi. Namun, anda tidak boleh meningkatkan kuasa secara berlebihan. Jika kuasa yang digunakan terlalu tinggi, sistem penyejukan perlu mampu menangani haba yang dihasilkan. Jika tidak, ia akan menyebabkan masalah pada sambungan ruang vakum, yang tentunya bukan perkara yang diinginkan.
Kuncinya adalah mencari keseimbangan antara voltan dan kuasa, agar lampu tersebut tidak rosak semasa proses pengeluaran berlangsung.
Mencipta “Kilang Hijau” yang Sebenar
Kelebihan utama penggunaan inframerah adalah masa yang diperlukan untuk memanaskan bahan tersebut berkurangan dari jam menjadi beberapa saat saja. Ini merupakan langkah penting untuk mengurangkan penggunaan tenaga. Anda tidak perlu menunggu lama untuk mempersiapkan peralatan.
Selain itu, sistem ini boleh disambungkan kepada pengawal suhu yang memastikan suhu kekal stabil di seluruh permukaan wafer. Dengan cara ini, tiada lagi keperluan untuk menggunakan bahan logam yang besar untuk menyejukkan peralatan.
Bagi para jurutera yang ingin mencapai matlamat “Kilang Hijau”, ini merupakan langkah yang mudah. Hentikan pemanasan udara secara berlebihan. Gunakan inframerah yang disasarkan, kurangkan penggunaan tenaga per wafer, dan capai matlamat kelestarian yang diinginkan.