Dalam proses pembakaran bahan photoresist, sebarang perbezaan suhu yang kecil pun boleh menyebabkan masalah. Perubahan suhu sebanyak 2°C semasa proses pembakaran akan menyebabkan variasi dimensi wafer. Kualiti wafer akan menurun sebelum pemeriksa sempat mengesan masalah tersebut. Kami telah mencipta termokopel khusus untuk pemanas semikonduktor, agar masalah ini dapat dielakkan dari awal.
Apa yang penting dalam reka bentuk termokopel ini
Termokopel ini direka untuk mengawal suhu dengan ketepatan yang tinggi, kerana perbezaan suhu yang kecil saja sudah cukup untuk merosakkan kualiti wafer. Ia memastikan suhu di seluruh permukaan wafer tetap stabil pada tahap ±0.1°C, sehingga aliran bahan photoresist dan proses penghilangan pelarut berjalan seperti yang diharapkan. Termokopel ini serasi dengan bilik bersih kelas 1–100, dan tidak menghasilkan zarah-zarah yang boleh merosakkan kualiti wafer. Ketepatan hasil pengukuran juga tetap konsisten sepanjang masa, sehingga mengurangkan risiko gangguan operasi pada mesin berkapasiti tinggi. Reka bentuk termokopel ini juga sesuai dengan blok pemanas standard dan antaramuka sambungan yang biasa digunakan, jadi pemasangannya mudah dan cepat.
Mengapa termokopel ini sesuai untuk digunakan dalam produksi
Ketepatan suhu sangat penting dalam proses pembuatan wafer. Termokopel ini memastikan profil suhu tetap stabil, sehingga dimensi wafer tetap konsisten. Bahan-bahan yang digunakan juga sesuai untuk bilik bersih, dan reka bentuknya yang bebas daripada zarah-zarah tertentu membantu mengurangkan kecacatan pada wafer. Penggunaan tenaga juga berkurangan kerana sistem kawalan suhu yang efektif. Hasilnya, prestasi mesin tetap konsisten dari satu syif ke syif yang lain, dan dari satu wafer ke wafer yang lain.
Butiran praktikal yang perlu diperhatikan
Pemasangan termokopel perlu dilakukan dengan tepat, agar ia dapat berfungsi dengan baik. Jika posisi termokopel tidak betul, ia akan menyebabkan kesilapan dalam pengukuran. Untuk mendapatkan hasil yang terbaik, gunakan termokopel yang sesuai dengan sistem kawalan yang digunakan, dan lakukan kalibrasi menggunakan nilai suhu sebenar mesin, bukan nilai yang diukur di laboratorium. Dalam persekitaran yang berkelembapan tinggi, jangka hayat termokopel mungkin akan berkurangan, kecuali jika komponen yang digunakan dirancang khusus untuk keadaan tersebut.