Di lantai pengeluaran, anda tentu tahu prosedurnya. Perubahan suhu sebanyak 0.2°C pada permukaan wafer sudah cukup untuk merosakkan kawalan ketebalan garis pada permukaan wafer tersebut, serta mengganggu profil fotoresist yang digunakan. Apabila pemanas vakum Leybold berfungsi dengan kurang efektif, ia bukan sahaja akan menurunkan kadar pengeluaran, tetapi juga membuang masa yang banyak dalam proses yang sebenarnya tidak efektif lagi. Kami membina alat ganti pemanas vakum Leybold ini agar sistem dapat kembali berfungsi seperti yang dirancang, dengan kebolehulangan yang tinggi, sehingga membolehkan pengeluaran berjalan secara berterusan 24/7.
Apa yang penting dari segi teknikalnya
Yang penting ialah keseragaman suhu pada tahap wafer, iaitu pada tahap ±0.1°C di seluruh kawasan yang dipanaskan. Pengawalan seperti ini memastikan suhu semasa proses pembakaran tetap stabil, sekaligus mengurangkan kecacatan yang timbul akibat perubahan suhu. Bahan-bahan yang digunakan sesuai untuk digunakan di bilik bersih, dengan tahap kebersihan kelas 1–100, dan ia tidak menghasilkan zarah-zarah semasa operasi. Setiap alat ganti ini disesuaikan dengan antaramuka Leybold – bentuk pemanas, susunan terminal, dan cara penghubungan termal – supaya sistem dapat berfungsi dengan sama seperti asalnya.
Inilah sebabnya mengapa perkara ini penting dalam proses litografi dan pemprosesan fotoresist: kebolehulangan suhu merupakan faktor penentu antara proses yang boleh diramalkan dengan proses yang memerlukan penyelenggaraan secara berterusan. Dengan adanya alat ganti ini, profil suhu akan tetap berada dalam julat yang ditetapkan. Kekurangan pada permukaan garis juga lebih mudah dikawal, dan jumlah bahan buangan akibat proses pembakaran yang tidak sempurna juga berkurangan. Hasil pengeluaran akan tetap stabil. Anda juga tidak perlu membazir tenaga untuk proses pemanasan yang bertujuan untuk mengimbangi perubahan suhu.
Beberapa nasihat praktikal: Untuk memastikan profil suhu yang tepat, pastikan pem montaj dilakukan dengan betul, pastikan permukaan yang bersentuhan bersih, dan periksa kedudukan termokopel dengan teliti. Selepas menukar alat ganti tersebut, lakukan ujian singkat untuk memastikan profil suhu kembali normal dan prestasi alat ganti tersebut masih baik. Jangan gunakan alat ganti ini di luar julat vakum yang ditetapkan, atau jika seal bilik tidak lagi berfungsi dengan baik; kedua-duanya akan merosakkan keseragaman suhu yang diinginkan. Gabungkan penggunaan alat ganti ini dengan penyelenggaraan rutin bilik pengeluaran, dan anda akan dapat mengekalkan prestasi yang stabil.