Pada garis pengeluaran FO-WLP, kestabilan RDL bermula semasa proses pembakaran. Perubahan suhu sebanyak 1°C semasa proses pembakaran photoresist atau pengerasan bahan pelindung boleh menyebabkan perubahan lebar garisan, berlakunya rongga, dan merosakkan wafer yang telah diproses melalui proses litografi. Kami mencipta alat pemanas khusus untuk mengekalkan kestabilan suhu pada setiap gelombang pengeluaran.
Inilah inti teknikalnya. Alat ini menggunakan sinar inframerah gelombang pendek, dengan sistem pemancar berbentuk kuarsa-halogen. Ini membolehkan suhu dicapai dengan cepat tanpa melebihi had yang ditetapkan. Pada kawasan seluas 300 mm, ketepatan suhu pada tahap wafer dapat dikekalkan pada tahap ±0.1°C pada suhu pembakaran biasa (90–120°C) dan suhu pembakaran tinggi (100–150°C). Keserasian dengan bilik bersih kelas 1–100 dicapai melalui penggunaan bahan keluli tahan karat jenis 316L, penebat PVDF, serta sistem pemantauan zarah secara masa nyata. Pengawal suhu memastikan suhu tetap stabil dalam jangka masa panjang, dengan variasi suhu antara ±0.2°C antara setiap批次 pengeluaran.
Proses pengeluaran FO-WLP memerlukan pengurusan haba yang tepat. Alat pemanas ini membantu mengekalkan kawalan suhu yang baik, walaupun dalam operasi 24/7. Dengan ini, tiada masa henti yang tidak dijangka akan berlaku, dan masa tahanan alat ini melebihi 10,000 jam. Hasilnya ialah kurangnya keperluan untuk melakukan kerja pembaikan, kawalan dimensi yang lebih baik, dan masa pengeluaran yang boleh diramalkan. Penggunaan tenaga juga dikurangkan kerana adanya sistem pemancar yang efisien, sehingga kos operasi berkurangan tanpa mengorbankan ketepatan suhu.
Pemasangan alat ini memerlukan antaramuka alat yang sesuai serta saluran pengudaraan yang efektif untuk mengekalkan tekanan yang stabil di dalam bilik bersih. Prestasi maksimum dapat dicapai apabila alat pemanas berada pada jarak ±1 mm daripada titik sasaran, dan laluan penyejukan bebas daripada kotoran. Proses integrasi alat ini hanya memerlukan masa satu hari, diikuti dengan ujian singkat untuk memastikan semua parameter berfungsi dengan baik.