ウェーハの加熱を正しく行うために
半導体クリーンルームで働いたことがある人なら、その苦労はよくわかるでしょう。ウェーハ全体に均一に熱を与える必要がありますが、同時に汚染が起こってしまっては困ります。まさに細心の注意が必要な作業です。多くの場合、アルミニウム製の反射板が使われますが、問題は、この反射板が赤外線の大部分を吸収してしまう点です。つまり、ウェーハに届かないエネルギーのために無駄なコストがかかってしまいます。
そこで役立つのが金コーティングです。
なぜ金なのか？
聞こえは豪華ですが、実際には物理学上の理由によるものです。金は長波長の赤外線の約98％を反射します。 つまり、熱が反射板の内部に漏れて無駄になる代わりに、金層がその光子を直接ウェーハに当てるのです。これにより、必要な場所にだけ熱が届き、電力の消費も抑えられます。非常に効率的です。それだけです。
熱の管理
ここが難しい部分です。高出力の赤外線ランプは大量の熱を発生させます。もし反射板の位置が数ミリでもずれると、熱の集中が起こります。そして、熱の集中はウェーハが歪む原因となります。 清潔を保つために、高純度の石英ランプを使用します。ガスが出たり、汚れが付いたりすることもありません。 しかし、冷却には注意が必要です。金コーティングが大量のエネルギーを前方に送り出すため、ランプの後部が非常に熱くなります。もし換気が不十分だと、温度センサーが故障したり、近くの電子機器が破壊されたりする可能性があります。
実際の設置方法
実際の現場では、正確な位置合わせが重要です。私たちは、既存のコントローラーに簡単に接続できるように設計しました。そうすれば、長時間の停止時間を避けることができます。 目標温度に到達するまでの時間も大幅に短縮されます。 ただし、一つ注意点があります。金は指紋を嫌います。 もし皮脂の汚れがコーティングに付着してしまうと、加熱時に焼けてしまいます。その結果、永久的な黒い斑点が残り、熱の均一性が失われます。ですから、必ず清潔に保ってください。