クリーンルームを安全に保つために：赤外線ヒーターの真実
クリーンルームでは、わずかなミスも許されません。ほんの少しのほこりや電気的な不安定さがあれば、大量のウェーハが廃棄処分になってしまいます。さらに悪いことに、装置全体が停止してしまう可能性もあります。
このような環境用に赤外線ヒーターを作る際、加熱要素自体は比較的簡単に作れます。しかし、本当に難しいのは電気的絶縁です。
なぜすべてのランプチューブをテストするのか
ここでは「サンプル検査」などは行いません。それは、私たちが冒すことのできないリスクです。
すべてのランプチューブは、工場を出る前に、耐圧試験と絶縁抵抗試験を受けます。本当に一つ残らずです。
私たちは絶縁性能を限界まで追い込みます。なぜかというと、目に見えない微細な亀裂や、わずかに不具合のあるシール部分を見つけ出したいからです。機械の中で故障するよりも、工場内で故障する方がましです。私たちはメガオーム値を厳しくチェックし、電流が本来あるべき場所、つまりフィラメントの中に留まるようにします。
熱と電圧の対処法
高出力のランプチューブは非常に高温になります。このような熱応力によって材料が膨張したり収縮したりし、時間が経つにつれて絶縁体が劣化してしまいます。
工場で誘電強度を確認することで、ランプチューブが熱に耐えられ、電流が筐体に漏れ出ないことを保証できます。
しかし、注意点があります。電源の仕様に合わせて使用する必要があります。もし、もう少し熱を得るために過剰な電圧をかけてしまうと、絶縁性能のテスト結果が無駄になってしまいます。絶対にしないでください。
正しく設置する方法
これらのヒーターは、熱が非常に均一であるため、精密な乾燥や硬化処理に適しています。しかし、その精度は、他の設備も適切に機能している場合にのみ実現されます。
手元にあるワイヤーをそのまま使ってはいけません。即席の対処や劣化したコネクタを使ってもいけません。必ず、私たちが指定する高耐熱性のケーブルを使用してください。ワイヤーが傷んでいたり、コネクタが酸化していたりすると、たとえ工場での絶縁性能が優れていても、接地不良を引き起こしてしまいます。接続部を清潔に保てば、ヒーターは正常に機能します。