もう、ランプの破損によってウェーハの製造が台無しになるのを防ぎましょう。 高負荷の状態でIRランプが破損してしまったことがある人なら、その恐怖をよく理解できるでしょう。本当に最悪な状況です。 問題は単に停止時間だけではありません。石英の破片や金属片がウェーハに降り注ぎます。一度破損すると、二次的な...

状況が不安定になったときのIR発光素子の安全確保 もし化学洗浄ラインでIR発光素子を使用しているなら、その恐ろしい状況はご存知でしょう。周囲には可燃性の蒸気が漂い、腐食性の物質が触れるものすべてを侵食してしまいます。 そういう環境では、通常の開放型の接続方法は単なる弱点に過ぎず、むしろ危険要素です...

赤外線加熱と強制送風：ウェーハを加熱するにはどちらが良いのか？ 熱風から赤外線加熱に切り替えるということは、単に部品を交換するだけではありません。それは、エネルギーをウェーハ表面に伝達する方法全体を変えることです。 一度、強制送風方式を考えてみてください。これは対流を利用しており、つまり、ウェーハ...