クラス100（ISO 5）のクリーンルームを運営しているなら、たった一つの微粒子がどれほど大きな問題になるかご存知でしょう。わずかな酸化物の破片や、ヒーターから放出されるガスだけでも、ウェーハや光学部品は破壊されてしまいます。
通常、こうした問題の原因は標準的な抵抗式ヒーターです。これらは劣化したり酸化したりしやすく、このような高精度な環境には適していません。そのため、私たちは高純度の合成石英製の赤外線ランプを使用しています。
なぜ石英が適しているのか 私たちは融着シリカ石英を使用しています。素晴らしい点は、極端な高温でも分解したり、微細な破片を出したりしないことです。さらに、熱は短波赤外線として伝わります。部品周辺の空気全体が加熱されるのではなく、エネルギーは直接部品に届きます。空気の流れが少ないため、製品の汚染も大幅に減少します。シンプルで効果的な方法です。
設置時の注意点 これらのランプは非常に高い熱密度に耐えられます。小さな100mmのチューブを使って局所的に加熱することもできますし、大きな500mmのアレイを使ってウェーハ全体を加熱することもできます。使用する空間に合わせてワット数を調整します。
注意すべき点はコネクタです。R7やSK15を使用してしっかりと接続します。緩んだ接続は避けてください。緩んだ接続ではアークが発生し、ランプが破壊されるだけでなく、金属蒸気がクリーンルーム内に放出されます。そんな後処理は誰も望みません。
加熱する対象によっては、異なるコーティングが必要になることもあります。透明な石英は純粋な短波放射を提供しますが、熱が集中するのを防ぎ、より均一に加熱したい場合は、薄膜コーティングを施して調整することができます。
現場からの注意点 石英ランプは速く温度に達します。しかし、非常に高温になります。高密度の2000Wのアレイを狭い空間に入れる場合、冷却ファンが十分な性能を発揮できる必要があります。ランプの周囲の空気が動かないと、コネクタが破壊されてしまいます。また、配線もしっかり確認してください。放射線の影響を受けないようにしてください。そうしないと、絶縁体が溶けてしまいます。