高価な装置をオーブンのように使わないでください
一般的な加熱要素は、どうしても乱暴な加熱を行います。熱が360度方角に放出されるのです。クリーンルームでは、これは大きな問題です。
熱があらゆる方向に放出されると、高価な機器の内壁がその熱を吸収してしまいます。その結果、「高温の壁」ができてしまい、オペレーターが火傷を負ったり、熱膨張によって機器自体が変形したりする可能性があります。これは望ましくありません。
熱を適切な場所に向ける
この問題を解決するために、方向性のあるIRランプを使用します。単純に石英管を使うのではなく、特殊な反射板やコーティングを利用します。まるで懐中電灯のように、IRエネルギーをウェーハや基板に直接当てるのです。
そうすれば、熱は必要な場所にだけ届きます。ビームを絞ることで、装置の筐体が無駄な熱を吸収することがなくなります。つまり、機器の内部をサウナのようにすることなく、所定の温度を維持できるのです。
問題点とその対処法
これらのランプは、既存の加熱システムに簡単に取り付けられるように設計されています。また、迅速に温度が上昇するようになっているので、機器が温まるのを待っている間に生産性が低下することはありません。
しかし、問題は、熱を集中させると、その強度が非常に高くなるということです。もしランプの位置が数ミリ誤っているだけでも、設定した温度を超えてしまう可能性があります。これは精密な調整が必要です。PIDコントローラーを適切に調整しておかないと、一日中設定をいじり続ける羽目になります。
チームの安全を守る
結局のところ、壁を冷やしておくことは、単に電気代を節約するためだけではありません。それは人々の安全のためでもあります。内部が冷たく保たれていれば、技術者たちは点検や緊急修理を行う際に火傷のリスクを避けることができます。また、高出力運転時にHVACシステムが過度に働く必要もありません。そうすれば、みんなが安心して作業できます。