در کارخانههای تولید، حتی تغییر نیم درجهای در دمای فر، میتواند باعث شود کیفیت فوتورزیست مناسب نشود و محصولات ضایع شوند. اگر میخواهید بازدهی تولید را حفظ کنید، کنترل حرارتی نباید چیزی باشد که به بعد از تولید در نظر گرفته شود؛ بلکه باید به عنوان یک پارامتر مهم در فرآیند تولید در نظر گرفته شود.
چه چیزهایی اهمیت دارند؟ ما این هیتر نیمههادی را با استفاده از سیستم کنترل PID طراحی کردهایم؛ این سیستم برای استفاده در ایستگاههای فرآوری ویفرها مناسب است. در سطح ویفر، یکنواختی دما در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد حفظ میشود؛ همچنین، تکرارپذیری فرآیند نیز در هر بار تولید بالا خواهد بود. بدنه هیتر نیز برای استفاده در محیطهای پاکسازیشده، در کلاسهای ۱ تا ۱۰۰ مناسب است؛ مواد و سطوح مورد استفاده نیز به گونهای انتخاب شدهاند که ایجاد ذرات در سطح ویفر صفر باشد. این هیتر طوری طراحی شده که بتواند ۲۴/۷ بدون هیچ توقفی کار کند؛ همچنین، پایداری دما نیز باعث میشود که دما در محدوده مجاز فوتورزیست باقی بماند.
چرا این موضوع اهمیت دارد؟ فرآیندهای فرآوری نرم و سخت، برای تعیین ابعاد و ویژگیهای ویفرها ضروری هستند. با استفاده از این هیتر، دقت دمای فرآوری فوتورزیست افزایش مییابد؛ این امر منجر به کاهش کارهای تکراری و افزایش تکرارپذیری فرآیند میشود. همچنین، کنترل دقیق ابعاد ویفرها نیز بهبود مییابد.
نکات عملی: این سیستم به خوبی یکپارچه میشود، اما تنظیمات PID باید با ویژگیهای محفظه، جریان هوا و الگوهای تغییر دما سازگار باشد. لطفاً پروفایل دقیق فرآوری را در اختیار ما قرار دهید؛ تا پارامترهای کنترلی برای تجهیزات شما تنظیم شود، نه فقط برای تجهیزات ما.
پس از راهاندازی سیستم، باید برنامههای کالیبراسیون سنسورها را با برنامههای نگهداری پیشگیرانه خود هماهنگ کنید؛ این کار باعث میشود که وعدههای مربوط به یکنواختی دما، روز به روز برقرار بماند.