در فرآیند لیتوگرافی، پروفایل حرارتی مورد استفاده – چه در حالت پخت نرم و چه در حالت پخت سخت – تعیینکننده کنترل ابعاد مهم و شکل فوتورزیست است. هر تغییر ۵ درجهای در دمای منطقه گرم، باعث کاهش بازدهی فرآیند خراشیدن لایهها میشود. ما لامپ گرمایشی مادون قرمز برای نیمههادیها را طوری طراحی کردهایم که این نوسانات را از بین ببرد.
از نظر فنی، چه چیزهایی اهمیت دارد؟ این لامپ از نوع مادون قرمز با طول موج کوتاه است؛ بنابراین واکنش سریعی دارد – در کمتر از یک ثانیه. انرژی مورد نیاز به طور دقیق به ویفر منتقل میشود. در سراسر ویفر، یکنواختی دما در محدوده ±۰.۱ درجه حفظ میشود؛ این موضوع باعث میشود که فرآیند پخت در هر بار تکرار، یکنواخت باشد. این لامپ بدون هیچ ذره آلایندهای کار میکند و میتواند در اتاقهای پاکسازی درجه ۱ تا ۱۰۰ استفاده شود. از نظر زمان کارکرد، خروجی لامپ در تمام ساعات شبانهروز پایدار است؛ این لامپها بیش از ۵٬۰۰۰ ساعت کار کردهاند و انحراف خروجی آنها کمتر از ۵٪ بوده است.
چرا این لامپ مناسب فرآیندهای واقعی است؟ میتوان آن را مستقیماً در خط لیتوگرافی یا در یک ایستگاه پخت مستقل استفاده کرد. این لامپ جایگزین سیستمهای قدیمی میشود؛ سیستمهایی که باعث افزایش دما میشوند و در نتیجه باعث ایجاد ناهمواریهایی در فوتورزیست میشوند. نتیجه این کار، پخت یکنواخت فوتورزیست است؛ در نتیجه انتخابپذیری فرآیند خراشیدن بهتر میشود و نقصها کاهش مییابد. واکنش سریع حرارتی این لامپ، زمان فرآیند را کاهش میدهد؛ در نتیجه هزینه حرارتی برای هر ویفر کاهش یافته و بازدهی فرآیند افزایش مییابد.
چه چیزهایی باید در نظر گرفت؟ برای نصب این لامپ، به منبع تغذیه پایدار و سیستم مدیریت حرارتی مناسب نیاز است تا یکنواختی دما حفظ شود. خود لامپ مقاوم است، اما غلاف کوارتز آن نیاز به مراقبت دقیق در هنگام تعمیرات دارد. تعویض لامپ را در زمانهایی انجام دهید که اتاق پاکسازی در حالت تعمیراتی باشد؛ این کار باعث میشود فرآیند در هر بار تکرار، تحت کنترل باقی بماند.