در کارخانههای تولید، میدانید که چه اتفاقی میافتد؛ حتی اختلاف دمای ۰.۲ درجه سانتیگراد در سطح ویفر، میتواند باعث اختلال در کنترل عرض خطوط روی ویفر شود و همچنین منجر به اختلال در پروفایل فوتورزیست شود. وقتی که هیترهای خلأ لیبولد دیگر عملکرد مناسبی نداشته باشند، نه تنها بازدهی تولید کاهش مییابد، بلکه ساعات زیادی نیز صرف فرآیندهایی میشود که دیگر کارایی لازم را ندارند. ما این قطعات یدکی را طوری طراحی کردهایم که سیستم دوباره به وضعیت حرارتی مناسب خود برسد؛ چرا که این کار باعث میشود فرآیند تولید بتواند به طور مداوم ادامه یابد.
از نظر فنی، چه چیزی مهم است؟
مهمترین چیز، یکنواختی حرارتی در سطح ویفر است؛ این یکنواختی باید در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد باشد. چنین کنترلی باعث میشود دماهای مورد نیاز برای پختن ویفر یکنواخت بماند؛ این امر هم به حفظ ثبات اندازههای فیزیکی ویفر کمک میکند و هم از ایجاد نقصها جلوگیری میکند. مواد و ساختار این قطعات، مناسب استفاده در محیطهای تمیز است؛ همچنین در طول فعالیت، هیچ ذراتی تولید نمیشود. هر قطعه یدکی، با ساختار هیتر لیبولد سازگار است؛ بنابراین سیستم میتواند همان واکنش حرارتی را تجربه کند که در حالت اصلی وجود دارد.
دلیل اهمیت این موضوع در فرآیندهای لیتوگرافی و فوتورزیست این است که یکنواختی دما، تفاوت بین فرآیندهای قابل پیشبینی و نیاز به تعمیرات ناگهانی را مشخص میکند. با استفاده از این قطعات یدکی، پروفایلهای حرارتی در محدوده مشخص باقی میمانند؛ همچنین کنترل خشونت لبههای خطوط نیز آسانتر میشود. در نتیجه، مقدار مواد اضافی که باید دور ریخته شوند، کاهش مییابد. عملکرد تولید نیز پایدار میماند. همچنین، انرژی صرف فرآیندهای حرارتی برای جبران اختلالات، کاهش مییابد.
چند نکته عملی: برای دستیابی به پروفایل حرارتی مناسب، باید محل نصب قطعات را به درستی تنظیم کرد، سطوح تماس را تمیز نگه داشت و محل قرارگیری ترموکاپلها را بررسی کرد. پس از تعویض قطعات، باید یک آزمایش سریع انجام شود تا پروفایل حرارتی دوباره تعیین شود و عملکرد قطعات بررسی شود. همچنین، نباید از محدوده خلأ مشخص شده استفاده کرد یا از سیلهایی استفاده کرد که دیگر کارایی لازم را نداشته باشند؛ زیرا این موارد باعث اختلال در یکنواختی حرارتی میشوند. با استفاده از این قطعات یدکی، میتوانید عملکرد سیستم را در محدوده مطلوب نگه دارید.