На виробничій лінії навіть незначна зміна температури під час процесу випалювання фотолаку – у розмірі півградуса – може призвести до того, що якість продукту стане нестабільною. Якщо ви хочете зберегти якість продукції, контроль температури не може бути чимось другорядним – його потрібно розглядати як справжній параметр процесу.
Що є важливим у цьому процесі
Ми створили цей нагрівач на основі принципу PID-керування, який забезпечує точний контроль температури для станцій літографії. На поверхні пластини температура залишається стабільною в межах ±0,1°C, а це забезпечує можливість повторного використання однієї і тієї самої пластини. Корпус нагрівача придатний для використання в чистих приміщеннях класу 1–100; матеріали та поверхні, з яких він виготовлений, дозволяють уникнути утворення частинок. Нагрівач розроблений для безперервної роботи 24/7 без перерв, а стабільність температури дозволяє тримати її в межах допустимих значень для фотолаку.
Чому це важливо
Процеси м’якого та жорсткого випалювання є ключовими етапами для формування правильних параметрів продукту. Завдяки цьому нагрівачу температура під час випалювання фотолаку залишається стабільною, що зменшує кількість необхідних корекцій та підвищує ємність процесу. Це також дозволяє краще контролювати критичні параметри продукту та уникати відхилень, спричинених температурними коливаннями.
Швидке досягнення бажаної температури та мінімальні відхилення також допомагають економити енергію. Крім того, терміни технічного обслуговування можна подовжити, оскільки конструкція нагрівача усуває можливість виникнення точок напруги, які можуть спричинити пошкодження компонентів.
Кілька практичних порад
Система інтегрується легко, але налаштування параметрів PID мають відповідати характеристикам вашої камери, потоку повітря та процедурі регулювання температури. Будь ласка, надайте нам точні дані про процедуру випалювання – швидкість зміни температури, час впливу температури та послідовність налаштувань. Це дозволить правильно налаштувати параметри керування для вашого обладнання.
Після запуску системи необхідно регулярно калібрувати датчики, щоб зберігати стабільність температури в межах ±0,1°C.