На лінії FO-WLP стабільність процесу виробництва починається з моменту запуску процедури нагрівання. Зміна температури на 1°C під час процедури м’якого нагрівання фотополімеру чи в’яжучого матеріалу може призвести до зміни ширини лінійки, утворення порожнин та пошкодження пластин, які вже пройшли процедуру літографії. Ми створили спеціальний нагрівач для збереження стабільної температури протягом усього процесу виробництва.
Основою цього пристрою є короткохвильове інфрачервоне випромінювання, яке генерується за допомогою арей емітерів з кварц-галогеновими елементами. Це дозволяє швидко досягти бажаної температури без перевищення її значень. На всій площі пластини стабільність температури становить ±0,1°C при типових температурах м’якого нагрівання (90–120°C) та жорсткого нагрівання (100–150°C). Сумісність з умовами чистої кімнати класу 1–100 забезпечується завдяки конструкції з нержавіючої сталі 316L, ізоляторам з PVDF та системі контролю за кількістю частинок у повітрі. Контролер постійно підтримує стабільну температуру в реальному часі, забезпечуючи точність в межах ±0,2°C між партіями та протягом дня.
Процес виробництва FO-WLP вимагає строгого контролю температури. Цей нагрівач забезпечує стабільну температуру навіть під час 24/7 роботи. Це дозволяє уникнути непланових перерв у виробництві; середній час безперервної роботи перевищує 10,000 годин. В результаті зменшується кількість необхідних корекцій, забезпечується стабільний контроль критичних параметрів, а також можна передбачити час виконання операцій. Енергоспоживання залишається на низькому рівні завдяки низькій тепловій щільності та ефективній передачі тепла, що дозволяє знизити витрати на електроенергію без жертвування точністю температури.
Встановлення пристрою полягає у правильному підключенні до необхідних інтерфейсів та належному організації системи відведення повітря для підтримки правильного тиску в чистій кімнаті.
Максимальна продуктивність досягається тоді, коли нагрівач знаходиться на відстані ±1 мм від цільової точки та коли шлях для відведення тепла не закупорений. Достатньо одного дня на інтеграцію пристрою, а потім – короткого тестування для налаштування параметрів.