Het correct opwarmen van de wafer
Als je ooit tijd hebt doorgebracht in een halfgeleiderzuiveringsruimte, weet je hoe moeilijk het is om de juiste temperatuur te bereiken. De verwarmingstoestellen moeten de wafer perfect gelijkmatig opwarmen, maar er mag geen enkele vorm van vervuiling zijn die dit proces verstoort. Het is een soort spinnen op een koord. De meeste mensen beginnen met aluminiumreflectoren, maar het probleem is dat deze te veel infraroodstraling absorberen. Hierdoor wordt energie verspild die nooit de wafer bereikt.
Daarom worden goudcoatings gebruikt.
Waarom goud?
Het klinkt luxueus, maar het heeft te maken met de fysica. Goud weerkaatst ongeveer 98% van de lange golflengten van infraroodstraling. Stel je voor dat de warmte niet in het frame van het apparaat terechtkomt en zo energie wordt verspild. Met een goudlaag wordt de warmte rechtstreeks op de wafer gericht. Op deze manier krijg je meer warmte precies waar je het nodig hebt, zonder dat je de vermogenssterkte hoeft te verhogen. Het is eenvoudig en efficiënt.
Het beheersen van de warmte
Hier komt het lastige gedeelte. Hoge vermogenslampen genereren veel warmte. Als de geometrie van de reflectoren zelfs maar een paar millimeter afwijkt, ontstaan er hete plekken. En hete plekken kunnen ervoor zorgen dat de wafer beschadigd raakt.
Om dit te voorkomen, gebruiken we kwartzlampen van hoge zuiverheid. Er is geen uitstoot van giftige stoffen en er is geen vuil.
Kijk echter goed toe hoe je de koeling regelt. Omdat de goudreflectoren zoveel energie afgeven, kan de achterkant van het apparaat nog steeds erg heet worden. Als de ventilatie niet goed genoeg is, kunnen de thermische sensoren beschadigd raken of zelfs de elektronica in de buurt beschadigd worden.
In de praktijk
Op de werkvloer gaat het allemaal om de correcte alignering. We hebben deze apparaten ontworpen als directe vervangers, zodat je geen urenlang stilstand hebt. Je hoeft ze alleen maar aan te sluiten op je bestaande controllers en het is klaar.
Je zult merken dat het gemakkelijker is om de gewenste temperatuur te bereiken.
Eén waarschuwing: goud haat vingerafdrukken. Als er olie van je huid op het goudtapijt terechtkomt, zal deze tijdens het opwarmen verbranden. Dit leidt tot permanente donkere vlekken, waardoor de gelijkmatige opwarming niet meer mogelijk is. Houd ze dus schoon.