Hentikan unsur pemanasan daripada merosakkan wafer anda
Jika anda beroperasi dalam bilik bersih kelas 100, anda pasti tahu bahawa penapis udara hanya dapat melaksanakan separuh daripada tugasnya sahaja. Masalah sebenar ialah unsur pemanasan tersebut. Unsur pemanasan ini boleh menjadi sumber gas berbahaya dan zarah-zarah kecil yang boleh merosakkan wafer pada saat-saat yang paling tidak diinginkan.
Itulah sebabnya kami menggunakan kuarsa sintetik berkualiti tinggi untuk mentol IR kami. Ini dapat mengelakkan zarah-zarah berbahaya daripada menempel pada wafer.
Mengenai bahan yang digunakan
Kuarsa biasa biasanya mengandungi kekotoran. Apabila suhu meningkat, kekotoran tersebut akan menguap. Ini tentu saja bukan sesuatu yang baik. Kami menggunakan silika berkualiti tinggi agar selubung mentol tidak mengeluarkan zarah-zarah berbahaya setiap kali suhu berubah. Kami juga memastikan kuarsa tersebut tahan terhadap perubahan suhu yang drastik. Dengan cara ini, tidak akan ada retakan atau serpihan kaca yang boleh masuk ke dalam ruang proses anda.
Mengawal suhu dengan tepat
Kami menggunakan gelombang inframerah jarak pendek kerana ia dapat memanaskan permukaan wafer dengan cepat. Semakin cepat permukaan wafer dipanaskan, semakin sedikit masa yang diperlukan oleh wafer untuk berada pada suhu ekstrem tersebut. Ini merupakan kelebihan besar, kerana ia dapat mengurangkan risiko berlakunya reaksi kimia yang tidak diinginkan pada substrat.
Ketepatan sangat penting di sini. Jika anda menggunakan alat berukuran 300mm, panjang dan kuasa mentol harus disesuaikan dengan bekalan kuasa yang digunakan. Jika tidak, akan timbul kawasan yang terlalu panas. Jika kuasa mentol terlalu tinggi tanpa kipas penyejuk yang mencukupi, filamen akan terbakar lebih cepat.
Menggantikan mentol yang rosak
Kami menggunakan konektor standard, jadi mentol yang rosak boleh digantikan dengan mudah. Anda tidak perlu menghabiskan masa untuk membaiki keseluruhan sistem hanya untuk mengganti mentol yang rosak.
Namun, perlu diingat bahawa kuarsa berkualiti tinggi sangat sensitif terhadap minyak kulit. Satu cap jari pun boleh menyebabkan masalah. Sila gunakan sarung tangan bebas bulu ketika memasang mentol tersebut. Jika minyak melekat pada kuarsa, ia akan merosakkan mentol sebelum filamen benar-benar rosak. Ini merupakan langkah kecil yang dapat mengelakkan banyak masalah.