Pemanasan menggunakan cahaya inframerah berbanding udara tertekan: Cara mana yang terbaik untuk memanaskan wafer?
Menggantikan kaedah pemanasan menggunakan udara tertekan dengan kaedah pemanasan menggunakan cahaya inframerah bukan sekadar pertukaran komponen sahaja. Ia merupakan perubahan total dalam cara tenaga diberikan kepada permukaan wafer tersebut.
Bayangkan penggunaan udara tertekan. Anda bergantung pada proses konveksi, di mana udara perlu melakukan kerja keras untuk memanaskan permukaan wafer. Kaedah ini memang berkesan, tetapi ia lambat. Sebaliknya, cahaya inframerah menggunakan tenaga radiasi untuk memanaskan wafer secara langsung.
Masa sangat penting
Udara merupakan pengalir haba yang sangat buruk. Apabila menggunakan ketuhar konveksi, anda perlu menunggu sehingga suhu bilik mencapai tahap yang diinginkan. Ia sama seperti menunggu air dalam periuk mendidih.
Lampu inframerah pula tidak memerlukan perantara. Tenaga radiasi dapat sampai ke permukaan wafer dengan cepat. Dalam dunia semikonduktor, ini bermakna proses pemanasan yang sebelumnya memerlukan beberapa minit kini hanya memerlukan beberapa saat sahaja.
Ia sangat cepat. Sangat pantas.
Dan ini penting kerana ia membantu melindungi wafer daripada “zona berbahaya” – masa di mana berlaku reaksi kimia atau oksidasi pada permukaan wafer.
Memastikan suhu yang tepat
Kita menggunakan sensor inframerah yang tepat untuk mengawal suhu wafer. Aliran udara boleh menjadi tidak stabil, menyebabkan adanya “titik sejuk” pada permukaan wafer. Namun, dengan penggunaan lampu inframerah, kita dapat mengawal suhu dengan lebih tepat. Jika bahagian tepi wafer kehilangan haba terlalu cepat, kita boleh meningkatkan kuasa pada kawasan tersebut untuk menyeimbangkan suhu. Ini membantu mengelakkan wafer daripada bengkok. Dengan penggunaan sistem PID yang tepat, kita dapat mengekalkan toleransi suhu sekitar ±1°C pada seluruh permukaan wafer. Ini merupakan tahap kawalan yang sangat tepat.
Cabarannya
Namun, bukan semuanya indah. Kaedah pemanasan menggunakan cahaya inframerah memberikan tekanan yang besar pada sistem penyejukan. Lampu inframerah menghasilkan haba yang banyak. Jika badan mesin tidak direka untuk menahan beban haba tersebut, ia akan menyebabkan masalah seperti sensor yang rosak atau bracket yang bengkok. Anda memerlukan sistem penyejukan yang efektif untuk melindungi komponen-komponen yang tidak perlu dipanaskan.
Pada dasarnya, kita mengorbankan kemampuan pengudaraan untuk mendapatkan kawalan elektrik yang lebih baik serta kelajuan proses yang lebih tinggi. Bagi kebanyakan orang, ini merupakan pertukaran yang berbaloi.