공장 내에서 오존을 만들어내는 것을 중단하세요.
반도체 청정실에서 일해본 사람이라면 잘 알고 있겠지만, 정확한 온도를 유지하기 위해 단파 적외선 램프를 사용합니다. 하지만 문제가 있습니다. 이러한 램프들은 진공 자외선(VUV)을 방출하는데, 이로 인해 공기 중의 산소가 오존으로 변질됩니다.
오존은 정말 문제가 많습니다. 오존은 유기물을 파괴하며, 공기를 깨끗하게 유지하고 웨이퍼를 보호하기 위해 엄청난 에너지를 소모하는 여과 시스템을 사용해야 합니다. 이는 끊임없는 싸움입니다. 우리는 오존을 전혀 생성하지 않는 적외선 램프를 개발했습니다.
작동 원리
일반적인 석영 램프는 200nm 미만의 파장을 방출합니다. 이러한 광자들이 O₂ 분자와 충돌하여 오존을 생성합니다. 이를 막으려면 특수한 자외선 차단 코팅이나 특수 처리된 석영을 사용합니다. 이는 마치 필터와 같아서 VUV 스펙트럼은 차단하지만, 열을 전달하는 적외선은 그대로 통과시킵니다. 따라서 필요한 열을 얻으면서도 화학적 오염은 발생하지 않습니다.
공장에 적용하는 방법
이 램프들은 기존 장비와 호환됩니다. 이미 경화나 건조용 오븐을 가지고 있다면, 램프만 교체하고 기존 제어 장치에 연결하면 됩니다.
단, 전력 측면에서 주의해야 합니다. 이 램프들은 고출력 램프이므로, 작동 속도는 빠르지만 많은 전력을 소모합니다. 따라서 전력 패널이 최대 전류를 감당할 수 있는지 확인해야 합니다. 작업 중에 전원이 차단되는 일이 없도록 해야 합니다.
“친환경적인” 장점
진짜 장점은 화학적 측면뿐만 아니라 에너지 비용 절감에 있습니다. 오존 생성을 중단하면 에너지를 많이 소모하는 공기 정화 시스템을 사용할 필요가 없습니다. 그 결과, 웨이퍼당 탄소 배출량이 줄어듭니다. 공장도 더 깨끗해지고, 에너지 비용도 줄어듭니다. 게다가 생산 속도를 늦출 필요도 없습니다. 이는 모든 면에서 이점입니다.