클래스 100 청정실에서의 오염 문제로 걱정하지 마세요.
만약 클래스 100 청정실에서 일해본 적이 있다면, 그곳의 스트레스가 얼마나 큰지 잘 알 것입니다. 아주 작은 먼지 한 조각이나 가스가 조금만 발생해도 전체 제품이 망가질 수 있습니다.
대부분의 가열 요소들은 문제가 많습니다. 가열될 때와 식을 때 VOC가 방출되기도 합니다. 이는 하드웨어의 물리적 특성과 싸우는 끊임없는 싸움입니다.
우리는 그런 증상들과 싸우는 대신 근본적인 원인을 해결하기로 결정했습니다. 그래서 탄소섬유로 만든 가열 요소를 고순도의 합성 석영관과 함께 사용했습니다.
왜 탄소섬유가 효과적인가요?
금속 코일의 경우, 시간이 지나면 산화되어 미세한 입자들이 생성됩니다. 이는 금속 코일의 본질적인 특성입니다. 하지만 탄소섬유는 달랐습니다. 탄소섬유는 안정적인 상태를 유지합니다. 고순도 석영관 안에 탄소섬유를 넣음으로써, 열원과 공기 사이에 장벽을 만들 수 있습니다. 그 결과, 아무것도 밖으로 나오지 않습니다.
또한, 탄소섬유에서 나오는 적외선은 표면 온도를 극단적으로 높일 필요 없이 재료 속으로 깊이 침투할 수 있습니다. 그래서 원하는 열 밀도를 얻으면서도 웨이퍼 주변의 공기가 과도하게 가열되는 것을 방지할 수 있습니다.
재료에 대한 자세한 정보
우리는 융합 석영유리를 사용합니다. 왜냐하면 온도 변화에도 잘 견디기 때문입니다. 열팽창 계수가 낮아서, 전력이 켜질 때나 꺼질 때에도 균열이 생기지 않습니다.
그리고 밀폐 장치에 대해서도 말해보겠습니다. 보통 이 부분에서 문제가 생깁니다. 우리는 특수한 유리-금속 밀폐 장치를 사용하여 내부의 가스가 밖으로 새어나가지 않도록 합니다.
하지만 한 가지 주의해야 할 점이 있습니다. 전력 밀도를 잘 조절해야 합니다. 이러한 램프들은 빠르게 열이 발생하지만, 석영관이 매우 뜨거워질 수 있습니다. 만약 이 램프들을 좁은 공간에 설치한다면, 케이스 내부에 충분한 공기 흐름이 있어야 합니다. 그렇지 않으면 열로 인해 주변 센서들이 손상될 수 있습니다.
설치 방법
가장 좋은 점은, 이 제품들이 기존의 적외선 히터를 그대로 대체할 수 있다는 것입니다. 따라서 히터 주변의 공기를 정화하기 위해 복잡한 여과 시스템을 사용할 필요가 없습니다. 문제의 원인을 제거하면, HEPA 필터도 그다지 열심히 작동할 필요가 없습니다.
단지 안정적인 DC나 AC 전원 공급장치에 연결하기만 하면 됩니다. 그러면 끝입니다. 먼지도 없고, 스트레스도 없으며, 오직 열만 있을 뿐입니다.