귀중한 장비를 오븐으로 만드는 것을 그만두세요!
대부분의 일반적인 가열 요소들은 열을 사방으로 방출합니다. 즉, 360도로 열이 퍼져나가는 것이죠.
클린룸에서는 이런 상황이 정말 위험합니다. 열이 사방으로 퍼지면, 값비싼 장비의 내벽들이 그 열을 흡수하게 됩니다. 그 결과 ‘뜨거운 벽’이 생기는데, 이는 두 가지 문제를 야기합니다. 첫째, 작업자들이 화상을 입을 수 있고, 둘째, 열팽창으로 인해 장비 자체가 변형될 수 있습니다. 이는 결코 좋은 상황이 아닙니다.
열을 필요한 곳으로 집중시키기
이 문제를 해결하기 위해 방향성이 있는 IR 램프를 사용합니다. 단순히 석영관만 사용하는 대신, 특수한 반사판과 코팅을 사용하여 열을 웨이퍼나 기판 쪽으로 직접 전달합니다. 그렇게 하면 열이 정확히 필요한 곳으로 가게 됩니다.
빔을 좁힘으로써, 장비의 몸체가 낭비되는 열을 흡수하는 역할을 하지 않게 됩니다. 그 결과, 장비 내부가 사우나처럼 뜨거워지지 않으면서도 원하는 온도를 유지할 수 있습니다.
단점 및 대응 방법
이러한 램프들은 기존의 가열 시스템에 쉽게 설치될 수 있도록 설계되어 있습니다. 또한, 빠르게 작동할 수 있도록 설계되어 있어서, 장비가 따뜻해질 때까지 기다리는 동안 생산성이 줄어들지 않습니다.
하지만 문제는, 열을 한 점에 집중시키면 그 열의 강도가 매우 높아진다는 점입니다. 만약 램프의 위치가 몇 밀리미터만 잘못되어도, 설정된 온도를 초과할 수 있습니다. 이는 매우 정밀한 조절이 필요합니다. PID 컨트롤러가 그러한 높은 열 강도를 처리할 수 있도록 조정되어 있어야 합니다. 그렇지 않으면 계속해서 설정값을 조절해야 할 것입니다.
팀원들의 안전을 지키기
결국, 장비 내부의 온도를 낮추는 것은 단순히 전기 요금을 절약하기 위한 것이 아닙니다. 그보다는 사람들의 안전을 위한 것입니다. 내부가 시원하면, 기술자들이 긴급한 점검이나 수리를 할 때 화상을 입을 위험이 줄어듭니다. 또한, 고출력 작동 시 발생하는 과도한 열을 처리하기 위해 HVAC 시스템이 과도하게 작동할 필요도 없습니다. 그렇게 되면 모두가 조금 더 편안하게 일할 수 있습니다.