불량한 램프로 인해 웨이퍼 생산이 중단되는 것을 막으세요. 고부하 상태에서 IR 램프가 고장나는 경험을 해본 적이 있다면, 그 심각성을 잘 알 것입니다. 정말 끔찍한 상황입니다. 문제는 단순히 가동 중단에 그치는 것이 아닙니다. 석영 조각과 금속 파편들이 웨이퍼 위로...

상황이 불안정해질 때 IR 방출기를 안전하게 보호하는 방법 화학적 세척 공정에서 IR 방출기를 사용한다면, 그 위험한 상황을 잘 알고 있을 것입니다. 주변에는 인화성 증기가 가득하고, 부식성 물질들이 모든 것을 파괴합니다. 그러한 환경에서는 일반적인 도선 연결 방식은...

적외선 가열과 강제 공기 순환 가열: 웨이퍼를 가열하는 데 어떤 방식이 적합할까? 뜨거운 공기를 사용하는 방식에서 적외선 가열 방식으로 전환하는 것은 단순히 부품을 교체하는 것 이상의 의미를 가집니다. 이는 에너지를 웨이퍼 표면에 전달하는 방식 자체가 완전히 바뀐다는...