工場内でオゾンの発生を止めましょう。
半導体クリーンルームで働いたことがある人なら、その状況はよくわかるでしょう。正確な温度制御が必要なため、短波長のIRランプが使われます。しかし、問題があります。これらのランプはしばしば真空紫外線（VUV）を放出し、その結果、空気中の酸素がオゾンに変わってしまいます。
オゾンは大変厄介な存在です。有機物を破壊し、空気やウェハーを清潔に保つために、大量の電力を消費する浄化システムを使わざるを得ません。これは絶え間ない戦いです。私たちは、オゾンを全く発生させないIRランプを考案しました。
実際の動作原理
通常の石英ランプは、200nm未満の波長の光を放出します。その光子がO₂分子と衝突してオゾンが生成されます。これを防ぐために、特別なUV遮断コーティングやドープされた石英が使用されます。これはまるでフィルターのようなもので、VUV光を遮断しつつ、熱を運ぶIR光だけを通過させます。そうすることで、必要な熱エネルギーは得られますが、化学的な汚染は起こりません。
工場への導入方法
これらのランプは、既存の装置にそのまま取り替えることができます。もし既に硬化や乾燥用のオーブンがあるなら、単にランプを交換し、既存のコントローラーに接続すればよいのです。
ただし、電力面に注意が必要です。これらのランプは高密度のものなので、迅速に加熱されます。これは工程時間を短縮するのには良いですが、多くの電力を消費します。電気盤がピーク電流に耐えられるかを確認してください。工程の途中でブレーカーが切れてしまうのは避けたいものです。
「グリーン」な点
ここでの真の利点は、化学的側面だけでなく、電力コストの削減にもあります。オゾンの発生を止めることで、エネルギーを多く消費する抽出ファンを止めることができます。これにより、空気浄化のために無駄に消費されるキロワット時を大幅に削減できます。
これは単純な交換によって、1枚のウェハーあたりの炭素排出量を削減する方法です。工場はより清潔になり、エネルギーコストも削減されます。また、生産速度を落とす必要もありません。これは全面的な勝利です。