クラス100のクリーンルームでの汚染問題を気にするのはやめましょう。
もしクラス100のクリーンルームで働いたことがあるなら、そのストレスはよくわかるでしょう。ほんの少しのほこりやガスの発生だけで、作業中の製品が台無しになってしまいます。
ここでは、ほとんどの加熱要素が問題を引き起こします。加熱・冷却の際にVOCが放出されるのです。これは、ハードウェアの物理的な特性との戦いです。
そこで私たちは、症状と戦うのをやめて、根本的な原因を解決することにしました。そこで、炭素繊維製の加熱要素を高純度の合成石英管の中に組み込むことにしたのです。
炭素繊維が効果的な理由
金属コイルの場合、時間が経つと酸化して微細な粒子が飛び散ります。それが金属コイルの性質です。
しかし炭素繊維は違います。安定した状態を保ちます。この炭素繊維を高純度の石英管の中に入れることで、熱源と空気の間に壁を作ることができます。そうすれば、何も外に漏れ出しません。
さらに、炭素繊維から出る赤外線は、表面温度を高くする必要なく物質の内部まで浸透します。必要な熱密度を得られる一方で、ウェーハ周辺の空気が「加熱」されることはありません。
材料についての詳細
私たちは融合石英ガラスを使用しています。なぜなら、温度が急変しても変形しないからです。また、熱膨張率も低いため、電源を切ったり付けたりしても割れる心配がありません。
そして、シール部分についてです。ここが通常問題になりやすい箇所です。私たちは、内部のガスが外部に漏れないように、特殊なガラスと金属のシールを使用しています。
ただし、注意点があります。電力密度には気を付けてください。
これらのランプは急速に加熱されますが、その石英管は非常に熱くなります。狭い空間に設置する場合は、チャassis内の空気の流れを確保してください。そうしないと、近くのセンサーに悪影響が及ぶ可能性があります。
設置方法
最良の点は、これらは通常のIRヒーターの代わりに使えるということです。
ヒーター周辺の空気を清浄にするための複雑なフィルターシステムを使う必要がありません。問題の原因を取り除けば、HEPAフィルターもそれほど頑張る必要がありません。
安定したDCまたはAC電源に接続すればOKです。粒子もストレスもありません。ただ熱だけが得られます。