スマートファブで適切な温度を維持する方法
半導体工場を運営している方なら、熱処理にはUHPヒーターランプが最適であることはご存知でしょう。しかし、「インダストリー4.0」の時代においては、温度自体だけが重要なわけではありません。実際には、その熱がどのようにデータと連携しているかが重要です。
なぜ赤外線を使用するのか
従来の抵抗加熱方式では、現代のデジタル化された生産ラインには不向きです。そのため、私たちは短波長赤外線を利用します。これにより、瞬時に加熱が行えます。この速さこそが鍵です。デジタルツインを利用したり、プロセスをリアルタイムで管理したりする場合、素早く温度を調整できるシステムが必要です。温度変更に時間がかかってしまうと、データフィードバック機能は意味をなしません。
熱密度について
これらのランプは高純度の石英製のケースを使用しています。なぜかというと、金属汚染によって製造が台無しになるのを防ぐためです。通常、高いワット密度を目指します。つまり、限られたスペース内にできるだけ多くのBTUを投入することで、クリーンルームのスペースを有効活用できるのです。ただし、問題もあります。最大出力で動作させると、筐体に大きな負荷がかかります。そのため、冷却システムを正確に設計する必要があります。空気の流れが悪くなると、ランプが早期に故障してしまいます。これはバランスを取る必要がある問題です。
推測するのをやめて、記録を取ろう
スマートファブでは、「設定して放置する」という考え方はもう時代遅れです。これらのランプはPIDコントローラーに直接接続され、生データがMESに送信されます。電流の変動や電圧の低下を監視することで、ランプが壊れる前にそれを把握できます。これにより、推測に頼らず、部品の交換時期を正確に判断できます。これにより、面倒な消耗部品を予測可能なものに変えることができます。