Hören Sie auf, Ozon in Ihren Produktionsbereichen zu erzeugen!
Wenn Sie schon einmal Zeit in einem Halbleiterreinraum verbracht haben, wissen Sie, wie das funktioniert. Man benötigt eine präzise Temperatur – deshalb werden Kurzwell-Infrarotlampen verwendet. Doch es gibt ein Problem: Diese Lampen strahlen oft Vakuumultraviolett-Strahlung ab, die den Sauerstoff in der Luft in Ozon umwandelt.
Und Ozon ist ein Albtraum – es zerstört organische Materialien und zwingt einen dazu, riesige, energieverbrauchsvolle Reinigungssysteme einzusetzen, nur um die Luft atembar und die Wafer sauber zu halten. Es handelt sich dabei um einen ständigen Kampf. Wir haben eine bessere Lösung gefunden: Infrarotlampen, die einfach kein Ozon erzeugen.
Wie es tatsächlich funktioniert
Standardquarzlampen strahlen Wellenlängen unter 200 nm aus. Diese Photonen treffen auf O₂-Moleküle und erzeugen so Ozon. Um das zu verhindern, verwenden wir eine spezielle UV-absorbierende Beschichtung oder dotierten Quarz. Das funktioniert wie ein Filter – er blockiert das Vakuumultraviolett-Spektrum, lässt aber die wärmeübertragenden Infrarotwellen durch. So erhalten Sie die gewünschte Wärme, ohne dass chemische Stoffe entstehen.
Einfache Integration in Ihre Anlagen
Wir haben diese Lampen so konstruiert, dass sie als Ersatz für die vorhandenen Lampen verwendet werden können. Wenn Sie bereits Öfen zur Trocknung oder Heizung haben, können Sie die Lampen einfach austauschen und sie an Ihre bestehenden Steuerungen anschließen.
Achtung jedoch bezüglich der Leistung: Es handelt sich um Hochleistungs-Lampen. Sie starten schnell – was gut für die Prozesszeiten ist – doch sie verbrauchen viel Energie. Stellen Sie sicher, dass Ihre Stromversorgung die höchsten Ströme bewältigen kann. Sie möchten schließlich nicht derjenige sein, dessentwegen die Sicherungen im Laufe des Prozesses ausschalten.
Der „grüne“ Vorteil
Der eigentliche Vorteil liegt nicht nur in der Chemie, sondern auch in den Energiekosten. Wenn man keine Ozonbildung mehr hat, kann man diese energieintensiven Absaugventilatoren ausschalten. Das bedeutet, dass man keinen großen Teil der Energie mehr für die Luftreinigung verschwendet.
Es handelt sich dabei um einen einfachen Austausch, der dazu führt, dass die Kohlenstoffspeicherung pro Wafer verringert wird. Ihre Fabrik wird sauberer, Ihre Energiekosten sinken – und Sie müssen Ihren Produktionsablauf nicht verlangsamen. Das ist ein echter Vorteil.